ICBDAtom- und Molekülphysik
Autor:
Hans-Peter Ahlsen
Hans-Peter Ahlsen
Ionized Cluster Beam deposition, in Japan entwickeltes PVD-Beschichtungsverfahren, bei dem ein sehr geringer Anteil von Clustern im Strahl die Schichteigenschaften positiv beeinflussen soll (Clusterbeschichtung).
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