Techniklexikon

Hochfrequenzmassenspektrometer

Hochfrequenzmassenalysator, Gerät zur Massenbestimmung, basierend auf Laufzeitunterschieden von Teilchen unterschiedlicher Masse in einem Hochfrequenzfeld. Die verbreitetste Ausführung ist das Quadrupolmassenfilter, bei dem die vorher ionisierten Teilchen ein durch vier stabförmige Elektroden erzeugtes Quadrupolfeld durchlaufen. Das an den Elektroden anliegende Gleichspannungsfeld wird von einem hochfrequenten Wechselspannungsfeld überlagert. Die Ionen werden so zu Oszillationen angeregt, und für eine bestimmte Kombination der verwendeten Geometrie, Elektrodenspannung und Hochfrequenz können nur Teilchen einer bestimmten Masse das Filter passieren. Andere Teilchen gehen an den Elektroden verloren. Quadrupolmassenspektrometer werden häufig in der Vakuumtechnologie zur Analyse von Restgas eingesetzt.