Techniklexikon

Gaseinlassventile

Vakuumtechnik, Dosierventile, Präzisionsventile in der Vakuumtechnik, mit denen genau definierte Gasströme in evakuierte Behälter eingelassen werden können. Die Einstellung des Öffnungsspalts erfolgt meist mit einer Mikrometerschraube (Abb.). Die Gaseinlassraten werden meist als Normvolumen pro Zeit angegeben, sie liegen bei handelsüblichen Ventilen im Bereich 10^-12-10^-3 cm³(T_n, p_n) / s (T_n, p_n: Normtemperatur bzw. -druck). Ausheizbare Dosierventile im Bereich des Ultrahochvakuums werden aus metallgedichteten Ventilen abgeleitet, indem der Ventilantrieb durch einen Dosieraufsatz mit Skala ersetzt wird. Die Gaseinlassraten solcher Ventile liegen im Bereich
10^-16-10^-7 cm³(T_n, p_n) / s.

Gaseinlassventile: Schnitt durch ein Dosierventil. 1, 3, 5, 10: Abdichtungen mit gummielastischem Material, 2: Filter in Gas oder Lufteinlass, 4: Feder, 6: Verstellschraube mit Skalenring, 7: Innenteil, 8: Ventilnadel, 9: Metallsitz, 11: Gehäuse mit zwei Kleinflanschen.