Techniklexikon

Entwurfsregel

Regeln zur geometrischen Anordnung von Strukturen bei der Entwicklung des Layouts im Prozeß des CAD. Die E. legen technologisch bedingte Minimal- und Maximalmaße fest. Sie berücksichtigen neben der minimalen Strukturgröße u. a. die Ungenauigkeiten beim Justieren, die Veränderung von Strukturen durch Unterätzung und Unterdiffusion und für die Funktion des integrierten Bauelements notwendige Überlappungen von Strukturen.