Atom- und Molekülphysik, spezielle Methode der Röntgenspektroskopie. Hierbei wird ein Material mit hochenergetischen, geladenen Teilchen beschossen. Durch Stossanregung werden Löcher in inneren Schalen der Atome oder Moleküle erzeugt. Werden diese Löcher durch Elektronen höherer Schalen wieder aufgefüllt, so kann die Überschussenergie in Form charakteristischer Röntgenstrahlung emittiert werden. Kennt man die Energien der Röntgenlinien der in Frage kommenden Elemente oder Moleküle, so kann man mit der Methode auch Elementanalyse betreiben. Als anregende Stosspartner kommen Elektronen, Protonen oder schwerere Ionen in Frage. Die Energien der Elektronen liegen typischerweise bei einigen 10 keV, für Protonen bei 1-2 MeV.
Spektren von Elektronen zeichnen sich durch einen hohen Untergrund an Bremsstrahlung aus, bei Protonenspektren ist selbiger deutlich geringer. In diesem Fall nennt man die Methode auch PIXE (Proton Induced X-Ray Emission). Wegen des kleinen Bremsstrahlungsuntergrunds ist dies eine sehr empfindliche Methode zur Elementanalyse.
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