bezeichnet bei einem optischen Beugungsgitter das Verhältnis von eingestrahlter Intensität zur Intensität einer bestimmten Beugungsordnung (meist der ersten Ordnung). Ein einfaches Strichgitter mit periodischer Transmission von 100% oder 0% (Amplitudengitter) besitzt in der Regel nur einen Beugungswirkungsgrad für die erste Ordnung von ca. 10%. Stufengitter mit einer sich periodisch ändernden Oberflächenform wirken dagegen als Phasengitter und erreichen Wirkungsgrade bis 100%, wenn der geometrische Strahlverlauf mit der Richtung der gewünschten Beugungsordnung zusammenfällt (Reflexionsgitter).
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