Techniklexikon

Aufdampfverfahren

Methoden der Kristallzüchtung, bei denen eine Abscheidung aus der Gasphase erfolgt. Dies gelingt durch thermische Zersetzung flüchtiger Verbindungen, welche die zu kristallisierende Komponente enthalten (Aufwachsverfahren, Chemical Vapor Deposition (CVD, chemische Gasphasenabscheidung)), durch Sublimation oder durch Molekularstrahlepitaxie (Molecular Beam Epitaxy, MBE). Diese Verfahren dienen meist zur Herstellung dünner Halbleiterschichtstrukturen, aber auch zur Darstellung kleiner Kristalle oder von Whiskern in Fällen, in denen andere Verfahren nicht möglich sind.