Ätzmaske
Autor:
Hermann Loring
Hermann Loring
Maske für die Strukturierung mit Hilfe eines Ätzverfahrens. Die Ä. soll den Materialabtrag auf bestimmte Orte des Wafers konzentrieren und selbst dem Ätzprozeß widerstehen. Entsprechend den zum Ätzen eingesetzten Chemikalien sind daher unterschiedliche Maskenwerkstoffe üblich (sehr häufig eine
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