Techniklexikon

Vakuummeter

Vakuumtechnik, Druckmessgerät in der Vakuumtechnik, das auch sehr kleine Drücke präzise anzeigen kann. Die Messung des Drucks erfolgt dabei grundsätzlich nach einem der beiden folgenden Verfahren: 1. Messung der flächenbezogenen Kraft (direkte Druckmessung), 2. Messung der Teilchenanzahldichte oder einer ihr proportionalen Grösse (indirekte Druckmessung). Bei niedrigen Drücken wird im allgemeinen nur die indirekte Messung eingesetzt. Es gibt mechanische Vakuummeter (Federvakuummeter, Membranvakuummeter, Reibungsvakuummeter), offene und geschlossene Flüssigkeitsmanometer sowie Kompressions-Manometer, Wärmeleitungsvakuummeter und Ionisationsvakuummeter. Ausser dem Gesamtdruck interessiert oft auch der Partialdruck einer Komponente des Restgases, hierfür werden u.a. Massenspektrometer eingesetzt.