TSA
Autor:
Julian Schultheiss
Julian Schultheiss
Technologische Spezialausrüstung. Für die Fertigung von Halbleiterbauelementen erforderliche spezielle Ausrüstung bzw. Geräte. Zu den T. gehören z. B. Diffusionsöfen (Diffusionsverfahren), Implantationsanlagen, JUB, Bedampfungsanlagen (Aufdampftechnik), Sputteranlagen (Sputtertechnik) usw.
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