Festkörperphysik, Vorrichtung zur Erzeugung von Ionenstrahlen. Bei ihr werden zunächst durch Anlegen einer hohen Spannung Elektronen aus einer Kaltkathode emittiert, die dann durch ein Magnetfeld auf oszillierende Bahnen innerhalb der Ionisationskammer gezwungen werden. Dort ionisieren sie das Quellgas; die erzeugten Ionen werden aus einer zweiten Kathode heraus beschleunigt. Technische Vorteile einer Penning-Quelle sind die einfache und robuste Konstruktion und durch die Kaltkathode eine sehr hohe Lebensdauer. Nachteilig ist die grosse Energieunschärfe des Ionenstrahls, die Tatsache, dass nur bestimmte Gase sich zur Ionisation in dieser Quelle eignen und der Energieverbrauch relativ hoch ist.
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