Techniklexikon

Kaskaden

Stosskaskaden, treten bei der Ionenstrahlzerstäubung von Festkörpern aus. Im Gegensatz zur Zerstäubung durch leichte Ionen, Wasserstoff oder Helium entstehen Stosskaskaden beim Einschlag schwerer Ionen oder Moleküle: Werden viele primäre Rückstossatome erzeugt, so setzen diese eine Kaskade von weiteren Rückstossatomen in Gang. Bleibt die Anzahl der bewegten Atome im Kaskadenvolumen klein, so heisst die Stosskaskade linear. Nichtlineare Kaskaden werden »spikes« genannt. »Thermal spikes« kann sogar eine Temperatur zugeordnet werden.