Grenzflächen zwischen einem halbleitenden und einem elektrisch isolierenden Material. Isolierende Schichten werden in Halbleiterbauelementen eingesetzt, z.B. in IC´s (Integrated Circuits, integrierte Schaltkreise ), um einzelne Elemente elektrisch gegeneinander zu isolieren, oder als Dielektrikum beim MOSFET (Metal-Oxide-Semiconductor-Field Effect Transistor).
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