Techniklexikon

Fliesszonentechnik

Festkörperphysik, Floating Zone-Verfahren, Zonenschmelzverfahren, Verfahren zur Herstellung von Einkristallen, bei der ein an seinen beiden Enden gehalteter Stab nur in einer schmalen Zone aufgeschmolzen wird. Diese Schmelzzone durchwandert (durch Bewegen des Stabes oder der Heizzone) den Stab. Das untere Ende des Stabes muss dabei einkristallin sein und übernimmt die Rolle des Keimkristalls. Der Vorgang des Zonenschmelzens wird zur Reinigung mehrmals hintereinander durchgeführt. Als Heizung wird üblicherweise eine Hochfrequenzspule benutzt, mittels der direkt im Stab Wirbelströme induziert werden. Die Fliesszonentechnik wurde vor allem für die Hochreinigung von Halbleitersubstanzen (Si, Ge) entwickelt und ist für deren Herstellung ein wesentlicher, automatisierter Verfahrensschritt geworden.

Fliesszonentechnik: Vertikales Zonenschmelzverfahren, an der oberne Aufhängung (1) befindet sich das polykristalline Ausgangsmaterial (2), in der Mitte befinden sich die Schmelze (3) und die Hochfrequenzheizung (4), unten wächst der reine Einkristall (5).