epitaktisch gewachsene oder mittels Epitaxie hergestellte dünne, einkristalline Schicht eines Festkörpers. Epitaxieschichten spielen in der modernen Halbleiterelektronik und Optoelektronik eine wichtige Rolle. Sie sind zum Beispiel Bestandteile von LEDs, Halbleiterlasern, Solarzellen und schnellen Transistoren (FET, HBT, HEMT).
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